碳化硅晶體生長(zhǎng)爐 SiC Crystal Growth

• 世界最高品質(zhì)SiC晶體生長(zhǎng)爐

  

  電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長(zhǎng)爐

  雙壁水冷石英管

  2英寸，100mm或150mm晶圓工藝

  高溫計(jì)控制和電源控制，保證生長(zhǎng)爐穩(wěn)定運(yùn)行

  自動(dòng)PLC控制，帶工藝，觸屏，安全互鎖/警報(bào)等功能

  遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)和控制

  占地空間最小的SiC生長(zhǎng)爐

   

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